擴(kuò)散硅壓力變送器結(jié)構(gòu)
壓力傳感器與二極管溫度傳感器一起封裝在測量膜盒頂部，再由兩塊密封法蘭夾住膜盒本體構(gòu)成了變送器的測量部，負(fù)責(zé)把工作現(xiàn)場待測的壓力信號轉(zhuǎn)換為電壓信號。另有電子線路板和液晶顯示表頭及接線端子構(gòu)成顯示部，負(fù)責(zé)把傳感器輸出的電壓信號通過放大、二線制信號處理變換4~20mA后，輸出標(biāo)準(zhǔn)電流信號 。
擴(kuò)散硅壓力變送器結(jié)構(gòu)圖（圖）
由于傳感器的輸出是非標(biāo)準(zhǔn)的信號，在實(shí)際應(yīng)用中為了使傳感器具有通用性以及便于信號的傳送和記錄，就將傳感器與帶有標(biāo)準(zhǔn)信號輸入電路配套使用，使之輸出符合標(biāo)準(zhǔn)的信號。此時(shí)輸出標(biāo)準(zhǔn)信號的傳感器就稱為變送器 。
簡而言之，變送器是從傳感器逐步發(fā)展而來的。本文研究的擴(kuò)散硅壓力變送器主要由 MEMS 傳感器、測量膜盒和接口與處理電路(智能電路板)三大部分組成。
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